北京航空航天大学智能微纳公共创新中心是校级教学、科研公共服务平台。通过构建开放共享、国际一流的微纳综合实验条件，服务师生教学科研活动，提升微纳技术相 关学科培养领军人才、承接重大项目、形成重大成果的能力，促进学科交叉融合，加快科研成果转化，支撑学校“双一流”建设。微纳中心定位：“国际水准”、“北航特色”、“协同共享”。国际水准：实现垂直加工精度0.1纳米，图形最小尺寸10纳米，电学表征分辨率1纳秒的尖端技术能力。北航特色：首创通用平台加特色平台协同运行模式，重点支撑北航“空天信医”核心学科建设。协同共享：对校内及校外相关合作单位全面开放，实行物联网智能管理，成立校企联合实验室，孵化自主知识产权的关键装备，推进科研成果转化。平台概况总使 用面积3500平米，其中超净实验室实际面积1500平米，包括百级区180平米，千级区560平米，万级区760平米。具备薄膜沉积、图形化、光刻刻 蚀、封装测试、性能表征等微纳加工及测试全流程能力；具备硅基、半导体、有机/生物分子、金属/合金等多材料体系加工能力；具备声、光、电、磁多性能综合 测试能力。依据 各学科提出的多维度、多尺度需求，微纳中心包括“通用平台”和“特色平台”。其中通用平台主要满足各学科微纳技术的共性需求；特色平台围绕北航“空天信 医”特色研究方向及重大任务，由学院间跨学科合作，协同共建。微纳中心以通用平台为支撑，各特色平台互为补充，覆盖我校优势学科，功能逐级拓展，形成涵盖 材料、器件、系统到仪器的全链条教学与科研体系。师资设备微纳 中心现有研究人员70人，其中院士3人，长江学者/杰青/IEEE Fellow 10人，分别来自于材料科学与工程学院、电子信息工程学院、能源与动力工程学院、航空科学与工程学院、计算机学院、机械工程及自动化学院、仪器科学与光电 工程学院、物理学院、化学学院、微电子学院、医学科学与工程学院、航空发动机学院及前沿科学技术创新研究院、航空发动机研究院、医工交叉创新研究院等。微 纳中心致力于创造跨学科合作机会，促进微纳技术相关双一流学科持续发展，形成新的学科增长点。微纳中心现有设备120余台套，包含高精度电子束曝光系统、原子层调控磁控溅射系统、四维磁光克尔测试系统、9T超导磁体测试系统在内的高精尖设备，形成了完备的微纳工艺线及特色测试线，重点布局国内具有自主知识产权的关键装备。