• 名称（微纳）紫外光刻机（SUSS MA6）
• 资产编号S2017606
• 型号MA6-BA6
• 规格6英寸及以下光刻
• 产地
• 厂家
• 所属品牌
• 出产日期
• 购买日期
• 所属单位通用平台（用户注册不要选择）
• 使用性质科研
• 所属分类光刻设备
• 联系人郑天宁 梁腾宇
• 联系电话13581737178，18800183937
• 联系邮箱zhengtn@buaa.edu.cn
• 放置地点B1-B02

主要规格及技术指标

支持2,4,6英寸晶圆，及小片曝光。
光源：350W Hg, 405nm，365nm（SU-8）
最小线宽1um
支持双面对准

主要功能及特色

用于各种微器件的制作和低维人工结构的形成

设备使用相关说明(收费标准)

注意：该设备按照预约时长（占用设备时长）和实际使用时长 为参考，按照长时间扣费。例如预约2小时，实际使用1小时，按照预约时长2小时计费。请各位用户规划好实验时间，需要进入涂胶，可以预约旋涂机，不要提前占用设备！