（微纳）紫外光刻机（SUSS MA6） (**)
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设备型号 :**
当前状态 :
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负责人 :柳洋 , 郑天宁 , 梁腾宇
联系人 :柳洋 郑天宁 梁腾宇 18701363677，13581737178，18800183937
放置地点 :通用平台（用户注册不要选择） > B1-B02
IP地址 : 48:3F:DA:7A:74:D1
- 名称（微纳）紫外光刻机（SUSS MA6）
- 资产编号ABC12346
- 型号**
- 规格**
- 产地
- 厂家
- 所属品牌
- 出产日期
- 购买日期
- 所属单位通用平台（用户注册不要选择）
- 使用性质科研
- 所属分类光刻设备
- 联系人柳洋 郑天宁 梁腾宇
- 联系电话18701363677，13581737178，18800183937
- 联系邮箱
- 放置地点B1-B02
主要规格及技术指标
支持2,4,6英寸晶圆，及小片曝光。光源：350W Hg, 405nm，365nm（SU-8）
最小线宽1um
支持双面对准