• 名称（微纳）测量显微镜
• 资产编号abc-clxwj
• 型号MM-400/L
• 规格
• 产地日本
• 厂家尼康
• 所属品牌
• 出产日期
• 购买日期
• 所属单位通用平台（用户注册不要选择）
• 使用性质科研
• 所属分类测试设备
• 联系人常晓阳 齐廉浩
• 联系电话15095403938，13167536270
• 联系邮箱
• 放置地点B1-B02

主要规格及技术指标

1. 光路系统:齐焦距离≥60mm，管径距离≥200 mm。
2. 放大倍率：50X-1000X,明场、暗场观察方式。
3. 载物台：带旋转载物台，载重≥15kg,X,Y移动范围100mm X100mm。
4. Z轴移动：手动，能适应最高样品高度150mm。
5. 目镜：10X，视野22mm,屈光度±5°可调。
6. 采图设备：1200万像素高清CCD。靶面尺寸：1/1.7 ,输出帧率：30FPS
7. 物镜：高分辨率、带明场、暗场功能。 5X:NA≥0.15,WD≥18mm; 10X:NA≥0.3,WD≥15mm; 20X:NA≥0.45,WD≥4.5mm; 50X:NA≥0.6,WD≥11mm;100X:NA≥0.8,WD≥4.5mm;
8. 照明部件：反射/透射，LED光源，自动光强度、孔径光阑、视场光阑调节系统。
9. 目镜筒：人机工学宽视野三目镜筒，可变观察角度，25mm视野。
10. 物镜转盘：安放镜头孔位数5个.
11. 3轴计数器：最小分辨率0.1μm.

主要功能及特色

芯片或物件表面形貌及几何特征尺寸的测量。

样本检测注意事项

载物台为透明玻璃，样品不能划伤和腐蚀载物台和镜头，最大尺寸和重量不的超过设备的技术指标。

设备使用相关说明(收费标准)

本设备为镀膜、刻蚀、光刻等仪器的附属测试设备，可以免费对所加工样品进行测试，但如果是对非本中心加工的样品进行测试，收费标准为200元/小时（不足1小时按1小时计算），校内用户6折计算。