（微纳）台阶仪|北航智能微纳公共创新中心开放系统

设为主页收藏本页发送快捷方式到桌面

（微纳）台阶仪 (P-7)

返回列表

162

收藏者
784

使用者
784

总次数
4064

总时长

设备型号 :P-7

当前状态 : |

负责人 :常晓阳 , 李竞

联系人 :常晓阳李竞 15811550878，13167536270

放置地点 :通用平台（用户注册不要选择） > B1-B02

IP地址 : 48:3F:DA:6F:25:AA

机时预约送样预约

名称（微纳）台阶仪
资产编号ABC12342we
型号P-7
规格
产地
厂家K
所属品牌
出产日期
购买日期
所属单位通用平台（用户注册不要选择）
使用性质科研
所属分类测试设备
联系人常晓阳李竞
联系电话15811550878，13167536270
联系邮箱
放置地点B1-B02

主要规格及技术指标

测量台阶最大量程为327μm，存在13μm、65μm、327μm三档可选，准确性在±5‰，1μm标样下10次测试重复性最大偏差5nm，极限最薄测试约5-8nm。支持薄膜应力测试。

主要功能及特色

最大支持6英寸晶圆，可向下兼容。

样本检测注意事项

样品应干净，底面和表面基本平整，台阶高度不能超量程，测量材料不能为液态、软态、粉末、腐蚀性物质。样品整体高度不超过5cm。支持委托测试。

设备使用相关说明(收费标准)

本设备为镀膜、刻蚀、光刻等工艺仪器的附属测试设备，可以免费对所加工样品进行测试，但如果是对非本中心加工的样品进行测试，收费标准为200元/小时（不足1小时按1小时计算），校内用户6折计算。