（微纳）电感耦合等离子体化学气相沉积系统（ICP-CVD）|北航智能微纳公共创新中心开放系统

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（微纳）电感耦合等离子体化学气相沉积系统（ICP-CVD）

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负责人 :范志强 , 韩寒

联系人 :范志强韩寒 18513766016，18838196092

放置地点 :通用平台（用户注册不要选择） > B1-B02

IP地址 : 48:3F:DA:6F:8A:BE

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名称（微纳）电感耦合等离子体化学气相沉积系统（ICP-CVD）
资产编号ABC12372
型号
规格
产地
厂家SENTECH
所属品牌
出产日期
购买日期
所属单位通用平台（用户注册不要选择）
使用性质科研
所属分类
联系人范志强韩寒
联系电话18513766016，18838196092
联系邮箱
放置地点B1-B02

主要规格及技术指标

SENTECH SI 500D,

主要功能及特色

用于微/纳结构中的抗腐蚀层、微纳电子器件中的绝缘层、薄膜太阳能电池等。主要生长SiO2,SiN,SiC,Si薄膜。设备配置的工艺气体有O2、SIH4、NH3、Ar、CH4、CF4气体，可实现较低温下的薄膜沉积（典型130℃）。

备注

校外用户1000元/小时