(微纳)晶圆级原子力显微镜	机时预约

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晶圆原子力显微镜（校内） 晶圆原子力显微镜（校外）

（微纳）离子束刻蚀沉积系统IBED	机时预约

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离子束刻蚀沉积（IBED）

（微纳）反应离子刻蚀系统 RIE(鲁汶仪器)	机时预约

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反应离子刻蚀系统（RIE）

（微纳）电感耦合等离子体刻蚀系统ICP	机时预约

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ICP刻蚀

（微纳）磁控溅射(维开M600-委托加工)	机时预约

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磁控溅射镀膜

（微纳）高分辨率扫描电子显微镜	机时预约

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（微纳）高分辨率扫描电子显微镜（校内） （微纳）高分辨率扫描电子显微镜（校外）

（微纳）阳极晶圆键合机（4/6/8寸）委托加工	机时预约

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晶圆阳极键合机

（微纳）扫描电子显微镜（中科科仪）	机时预约

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SEM扫描电镜（校内） SEM扫描电镜（校外）

（微纳）AFM原子力显微镜(multimode 8)	机时预约

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AFM 送样检测（校内） AFM 送样检测（校外）

(微纳)聚焦离子束纳米加工及显微镜系统（只能送样检测）	机时预约

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聚焦离子束纳米加工及显微镜系统（EBL，校内） 聚焦离子束纳米加工及显微镜系统（EBL，校外） 聚焦离子束纳米加工及显微镜系统（FIB，校内） 聚焦离子束纳米加工及显微镜系统（FIB，校外）